退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對(duì)不同的效果而設(shè)計(jì)的。可以加熱晶片以激活摻雜劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長(zhǎng)的薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注入的損傷，移動(dòng)摻雜劑或?qū)诫s劑從一個(gè)薄膜轉(zhuǎn)移到另一個(gè)薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。

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1、退火氣氛：一般都是選用純氫作為退火氣氛，氣氛純度比較好是99.99%以上，如果氣氛中另一部分是惰性氣體的話，純度也能夠低一點(diǎn)，可是絕對(duì)不能含有過(guò)多氧氣、水汽。

4、爐體密封性：亮光退火爐應(yīng)是關(guān)閉的，與外界空氣隔絕;選用氫氣作維護(hù)氣的，只有一個(gè)排氣口是通的(用來(lái)點(diǎn)著排出的氫氣)。檢查的方法能夠用肥皂水抹在退火爐各個(gè)接頭縫隙處，看是否跑氣;其中比較簡(jiǎn)單跑氣的當(dāng)?shù)厥峭嘶馉t進(jìn)管子的當(dāng)?shù)睾统龉茏拥漠?dāng)?shù)兀@個(gè)當(dāng)?shù)氐拿芊馊μ貏e簡(jiǎn)單磨損，要經(jīng)常檢查經(jīng)常換。

?5、爐內(nèi)水汽：一方面檢查爐體材料是否干燥，初次裝爐，爐體材料必需要烘干;二是進(jìn)爐的不銹鋼管是否殘留過(guò)多水漬，特別管子上面如果有孔的話，千萬(wàn)別漏水進(jìn)去了，要不然就把爐子氣氛全破壞了。 如果沒(méi)有呈現(xiàn)這幾類問(wèn)題的話開(kāi)爐后應(yīng)該退20米左右的不銹鋼管就會(huì)開(kāi)始發(fā)亮，是亮得反光的那種。