退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能。退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中，例如氧化，或者可以自己處理。退火爐是由專門為加熱半導體晶片而設計的設備完成的。退火爐是節能型周期式作業爐，超節能結構，采用纖維結構，節電60%。
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優點：
1、使用方便，習慣生產環境；
2、爐膛內升溫敏捷且各段溫度均勻；
3、爐體大修期確保五年以上，且爐門、燒嘴等易損部件維修方便。
缺點
1、設備耗油量大，效率低，環境污染嚴重；
2、由推鋼軌道等引起的毛病多，維修困難，影響了生產；
3、自動化控制程度低，廢品率高，一般在12%擺布。
改進措施：
改造后退火爐的爐溫分為三個區域。在此期間，推料器將工件推到爐的I區-加熱區。兩側墻上有四個交錯的燃燒器。軌道由耐火磚制成的拱支撐，因此工件可以在兩側加熱。然后，有第二區和第三區——恒溫區。四個燃燒器在同一高度的兩側墻壁上交錯排列。八個燃燒器均為低壓渦流燃燒器。在I區和II區之間設置間隔梁，在爐膛前后頂部設置兩臺復合金屬換熱器。兩側爐墻及爐底為磚結構，爐頂為耐火纖維氈，選用高壓風機提供助燃風和引風排煙。燃氣母管和空氣母管設有調節閥和流量孔板，引射器空氣母管也設有調節閥。配備一套領先的微機控制系統、顯示儀表和保護設備。
